? 流量范圍從0-5sccm到0-1000slpm(氮氣)
? 設定點的響應時間不超過1sec
? 控制精度可達實際流量的1%
? I/O(輸入&輸出)可選模擬和數字信號
? 可實現本地/遠程設置/顯示
